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                          單晶硅爐上下傳動部件

                          晶體爐下傳動部件1

                          產品分類:單晶硅爐上下傳動部件
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                          坩堝在爐內有效行程 400mm
                          下 傳 動 坩堝轉速范圍 1.0~20.0rpm


                          慢速:0.020~1.000mm/min

                          坩堝升速 快速:>100mm/min
                          動 態 精 度 堝升速度精度 <2%
                          堝轉速度精度 <2%
                          堝升爬行 升速0.05mm/min時≤0.01mm
                          運行時坩堝桿頂端圓跳動 ≤0.02mm

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